久久久久久久久免费视频-久久久久久久久久综合情日本-久久久久久久久久毛片精品美女-久久久久久久久久久福利观看-医生含着我的奶边摸边做-伊在香蕉国产在线视频

歡迎光臨玖研科技(上海)有限公司官方網站
服務熱線 全國服務熱線:

15618825317

您的位置:首頁 > 新聞中心> 知識專欄

知識專欄

Electrostatic Chuck(ESC 靜電吸盤)--半導體Critical parts介紹

靜電吸盤--又稱靜電卡盤,是半導體工藝中的硅片夾持工具,被廣泛用于PVD、CVD、ETCH等制程部門。在一些制程的process過程中需要固定wafer,并且維持wafer 背面壓力的恒定。

     早期使用機械夾持的方式,但是傳統的用爪子固定的方法不僅很可能會劃傷晶圓,對特定部位施加強力可能會導致wafer碎裂,并且存在 wafer edge 不均一,chucking/dechucking 時機械運動引起particle 等問題。另外,如果采用真空吸附,則無法采用像吸盤那樣減壓吸附的方法。

      為了解決這些缺點,發明了使用靜電吸附的方式,ESC- Electrostatic Chuck。ESC 利用電容兩帶電極板的庫倫引力來固定wafer,這樣wafer topside 無接觸的chuck方式解決了機械卡盤和真空吸附的各種問題。

      其優點:1.Wafer 表面無機械夾持;2. 可以調節wafer 的溫度,改善均一性;3. 可以減少 wafer edge exclusion。

 

1710225890119397.jpg

圖源:小叮當

基本原理:

      靜電吸盤吸引力一般涉及三種吸附原理(庫侖力、約翰遜-拉貝克力,梯度力)但在實際生產過程中并不總是只有一種力在起作用,而是多種力結合起來產生吸引物體的力。

      ESC 主要利用電容兩電極板的庫倫吸引原理制成,表面涂有絕緣層的ESC的主體部分為電容一側電極, wafer 為電容的另一側電極。庫倫引力要大于wafer 背面用來降溫的 He Flow 的的壓力。    

1710214321127871.png

圖源:Tom聊芯片智造


ESC種類:Unipolar Type(單極型靜電吸盤)& Bipolar Type(雙極型靜電吸盤


        一、單極型靜電吸盤:wafer從plasma中獲取電荷,電極通電產生異向電荷,從而產生吸附。

1710215732678401.jpg

單極型靜電吸盤

        



        Chucking force:

1710223229204679.png

F: 兩電極間的庫倫引力;

ε: 絕緣層的介電常數;

V: 兩電極附加的電壓;

D: 兩極板間的距離

P: 表面電荷密度;

E: 電場強度;

C: 電容量;

Q: 總電荷量。


由公式可以推算出,想增加chucking force, 可以:

1. 增加電壓;

2. 減小絕緣層厚度;

3. 使用介電常數高的絕緣材料;

4. 增加wafer size;

但是實際上wafer 的尺寸一般來說是固定的6吋,8吋或者12吋,而且絕緣層的厚度也不能無限減小,所以經常以增大電壓和使用介電常數更高的材料來增加chucking force。



        二、雙極型靜電吸盤,電源正負極均接在電極上,wafer在內部被極化,能夠在沒有plasma情況下被吸附;

1710223952115359.jpg


雙極型靜電吸盤

         

        Chucking force:

        在雙極型下:

1710224830763974.png

        所以,chucking Force 是單極型的1/4:

1710224944497605.png

F: 兩電極間的庫倫引力;

ε: 絕緣層的介電常數;

V: 兩電極附加的電壓;

D: 兩極板間的距離;

P: 表面電荷密度;

E: 電場強度;

C: 電容量;

Q: 總電荷量。



ESC材料: 分為庫倫型靜電吸盤和迥斯熱背型(Johnson-Rahbek)

        庫倫型:純電介質做成的吸盤,吸附力較小,電極需要高電壓,約3000~4000V;

        JR型: 摻雜電介質做成的吸盤,略帶導體性質。電極上施加電壓時,電荷能夠集中在表面附近,電極間的距離小,吸附力大,所需的電壓較小,約500~800V。

        通常來說,JR型吸盤的吸力比庫侖類的大,所以在對wafer溫度控制要求很高的Etch機臺中,越來越多地采用迥JR型吸盤,其電介質通常是參雜的氮化鋁陶瓷材料,氮化鋁有很好的導熱性。

12.png

 庫倫型


13.png

 JR型

ESC結構:

1710226011738898.jpg

圖源:海拓創新




1710226786666498.png


1710227161199369.png




新聞中心

聯系我們

公 司:玖研科技(上海)有限公司

聯系人:薛先生

電話:021-50938513

手機:15618825317

E-mail:jason@grindtechcorp.com.cn

地 址:上海市浦東新區鑫橋創意產業園銀山路183號

用手機掃描二維碼關閉
二維碼
主站蜘蛛池模板: 亚洲精品高清中文字幕完整版 | 0855午夜福利伦理电影 | 精品久久久爽爽久久久AV | 伊人青青青 | 日欧一片内射VA在线影院 | 国语自产拍在线视频普通话 | 小女生RAPPER入口 | 国产成人精品电影在线观看 | 伊人久久大香线蕉综合影 | 亚洲一区二区影院 | 99在线观看免费 | 99视频免视看 | 榴莲推广APP网站入口官网 | 国产欧美日韩视频怡春院 | 玩弄放荡人妻一区二区三区 | 4399的视频BD高清在线观看免费 | 国产成人在线网站 | 在线 国产 欧美 亚洲 天堂 | 欧美特级特黄AAAAA片 | 久久高清一本无码 | 国产成人在线视频网站 | 亚洲爆乳无码精品AAA片蜜桃 | 狠狠色欧美亚洲狠狠色www | 在镜头里被CAO翻了H | 国产精品嫩草99AV在线 | 久久这里只精品国产99re66 | 年轻夫妇韩剧中文版免费观看 | 免费精品在线视频 | 免费国产午夜理论不卡 | 伦理片天堂eeuss影院 | 亚洲精品乱码久久久久久直播 | 推倒美女总裁啪啪 | 中文字幕视频免费在线观看 | www.青青草.com| 国产成人精品综合久久久 | 殴美黄色网 | 精品一产品大全 | 无码专区aaaaaa免费视频 | 国产高清国内精品福利色噜噜 | 手机在线播放成人亚洲影院电影 | 最新 国产 精品 精品 视频 |