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  • ESC 靜電卡盤 氧化鋁 氮化硅 陶瓷研磨機(jī) 拋光機(jī)
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engis研磨拋光設(shè)備

       靜電卡盤(Electrostatic Chucks,ESC),也稱靜電吸盤,是一種適用于真空及等離子體工況環(huán)境的超潔凈晶圓片承載體,它利用靜電吸附原理進(jìn)行超薄晶圓片的平整均勻夾持。由于靜電吸附方式具有溫度可控、吸附力均勻,對大面積(8 吋級以上的晶圓采用)薄片工件吸附時不會產(chǎn)生傷痕和皺紋,同時沒有晶片邊緣排除效應(yīng)等優(yōu)點,被作為現(xiàn)代半導(dǎo)體制造業(yè)中重要的晶片夾持工具,成為當(dāng)今超大規(guī)模集成電路高端裝備刻蝕機(jī)(ETCH)、離子注入機(jī)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積PVD等半導(dǎo)體制造設(shè)備的核心部件,在等離子和真空環(huán)境下的刻蝕、化學(xué)氣相沉淀、離子植入等晶圓制造加工過程中得到廣泛應(yīng)用。

     本公司提供多功能性和速度的engis研磨和拋光機(jī)系列。本設(shè)備適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中各種高品質(zhì)陶瓷元件產(chǎn)品的研磨和拋光工藝。晶圓尺寸可應(yīng)用于最大12英寸的卡盤。針對晶圓片厚度控制、晶圓片平整度、表面粗糙度和平行度的先驗拋光工藝。

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